真空固化爐是一種用于半導(dǎo)體晶圓制造過(guò)程中對(duì)聚酰亞胺（PSPI)這一種新型工程高分子材料固化的專(zhuān)用設(shè)備，烘箱溫度最高可達(dá)450°c 固化爐的工作原理和操作流程：
1、固化爐工作原理
以翅片式散熱器和不銹鋼加熱管為熱源，利用風(fēng)機(jī)對(duì)加熱總成對(duì)流換氣的方式加熱空氣，通過(guò)熱空氣與物料的熱量傳遞，空氣通過(guò)進(jìn)風(fēng)口不斷補(bǔ)充，濕空氣排出箱外，使?fàn)t內(nèi)的溫度不斷提高，模具逐漸預(yù)熱。 操作程序。
2、固化爐開(kāi)機(jī)前準(zhǔn)備
①崗位操作人員開(kāi)機(jī)前首先必須熟悉本機(jī)的結(jié)構(gòu)性能、工作原理、調(diào)整方法、操作方法及保養(yǎng)知識(shí)。
?、跈z查設(shè)備的狀態(tài)標(biāo)志及衛(wèi)生清潔狀況。
③檢查電器系統(tǒng)是否完好，電動(dòng)機(jī)是有無(wú)受潮漏電。
3、固化爐操作過(guò)程
①首先將臺(tái)車(chē)及爐內(nèi)部清洗干凈。
?、诖蜷_(kāi)供電設(shè)備電源開(kāi)關(guān)、打開(kāi)設(shè)備“電源開(kāi)關(guān)”按鈕(鑰匙旋鈕右擰)
?、鄞蜷_(kāi)爐門(mén)，將模具及物料放上臺(tái)車(chē)推入烘爐內(nèi)，關(guān)閉爐門(mén)。
?、茉O(shè)定烘爐溫度，并打開(kāi)烘爐“風(fēng)機(jī)”及“升溫”按鈕。
?、葸_(dá)到固化時(shí)間打開(kāi)爐門(mén)，將臺(tái)車(chē)推出爐門(mén)，取出固化后的物料。
⑥當(dāng)工作結(jié)束時(shí)，分別關(guān)閉“升溫”和“風(fēng)機(jī)”按鈕，使加熱系統(tǒng)、鼓風(fēng)系統(tǒng)停止工作。
?、咦詈箨P(guān)閉“電源開(kāi)關(guān)”旋鈕，合上總閘，打開(kāi)爐門(mén)，取出已烘干的物料，工作程序結(jié)束。
4、固化爐操作注意事項(xiàng)
?、俸鏍t安裝場(chǎng)地應(yīng)平整、光滑。
②電器控制人員有專(zhuān)業(yè)的管理和維修;當(dāng)爐箱不用時(shí)，應(yīng)切斷電源，確保安全。
?、矍形饘⒁兹家妆锲贩湃牒鏍t內(nèi)，以免發(fā)生安全事故。
以上為您介紹的是固化爐的工作原理和操作流程，希望以上知識(shí)對(duì)您有所幫助！
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